EUV 관련주 10 종목 | 반도체 노광 장비

EUV 관련주 편입 이유와 기업소개, 현재 주가를 알아보겠습니다. 관련주 종목에는 에스앤에스텍, 에프에스티, 아이엠티, 워트, 켐트로스, 동진쎄미켐, 파크시스템스, 풍국주정, 한국알콜, 지오엘리먼트 기업이 있습니다.

EUV는 반도체를 만드는데 있어 주요 과정인 포토과정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피 기술 또는 이를 활용한 제조공정입니다. EUV(극자외선)는 Extreme UltraViolet 약어입니다.



반도체 칩 생산시 웨이퍼는 감광 물질로 코팅이 되고 포토공정 설비에 들어가 노광 작업(회로 패턴을 새겨 넣기 위해 레이저 광원을 웨이퍼에 투사)을 진행하게 되는데 EUV 공정은 노광 단계를 극자외선 파장을 가진 광원을 활용해 진행하는 것입니다.

EUV 노광 장비는 네덜란드 ASML이 독점 공급하고 있습니다.


1. 에스앤에스텍


EUV 관련주 편입 이유

투과율 90%의 반도체 EUV(극자외선) 공정용 펠리클 개발에 국내 최초로 성공.


EUV 관련주 에스앤에스텍 주가 차트

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에스앤에스텍 주식 기업소개

  • 반도체 및 TFT LCD 생산에 쓰이는, 노광 공정의 핵심 재료인 포토마스크의 원재료로서 패턴이 노광되기 전 마스크인 블랭크 마스크 제조 및 판매를 영위하고 있음.
  • System LSI, LCD, OLED 등 국내 고부가가치 확대와 중국 패널업체 전방 산업 투자 확대에 대응하여 제품 및 고객 확대를 위해 노력 중.
  • 블랭크마스크 상품이 매출의 98% 가량 차지하고 있으며, 중국 패널업체 수요 확대를 위한 신규 공장을 증설함.



2. 에프에스티


EUV 관련주 편입 이유

업계 최초 EUV 펠리클 자동 마운트 장비 개발.


EUV 관련주 에프에스티 주가 차트

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에프에스티 주식 기업소개

  • 2001년 7월 31일자로 상호를 화인반도체기술에서 에프에스티로 변경함. 동사는 2000년 1월 18일에 코스닥시장에 등록됨.
  • 포토마스크용 보호막인 펠리클(Pellicle)과 온도조절장비인 칠러(Chiller)를 주력으로 생산하는 반도체 재료/장비 전문업체임.
  • 클라넷은 반도체/디스플레이 생산공정에서 발생하는 산성 및 독성가스를 처리하는 스크러버를 제조 판매하는 기업으로, 2023년 3월 지배기업 에프에스티로 흡수합병되었음.


3. 아이엠티


EUV 관련주 편입 이유

건식세정 장비 사업, EUV Mask용 레이저 응용 장비 사업 및 부품 사업을 영위. 레이저 및 CO2 건식 세정기술, EUV Mask용 레이저 Baking 장비 원천기술을 보유하고 있으며, 이를 기반으로 초정밀 부품을 생산하는 첨단 제조 공정에 적용가능한 공정별 On-demand 장비를 개발, 생산 및 판매.


EUV 관련주 아이엠티 주가 차트

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아이엠티 주식 기업소개

  • 건식세정 장비 사업, EUV Mask용 레이저 응용 장비 사업 및 부품 사업을 영위함.
  • 초정밀 부품을 생산하는 첨단 제조 공정에 적용가능한 공정별 On-demand 장비를 개발, 생산 및 판매함.
  • 레이저 세정 기술을 개발하는 과정에서 레이저 빔의 에너지 Profile을 원하는 형태로 바꾸어 주는 레이저 Beam Shaping / Forming 기술 노하우를 축적함.



4. 워트


EUV 관련주 편입 이유

주력 제품인 초정밀 온습도 제어장비(THC)는 반도체 노광(Photo, 포토) 공정에서 온도, 습도 및 온수를 적절하게 조절해 365일 고도환경제어상태를 유지.


EUV 관련주 워트 주가 차트

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워트 주식 기업소개

  • 2004년 4월 설립되어 반도체 및 디스플레이 공정에 필요한 환경제어 시스템을 개발, 제작하여 납품하는 사업을 영위하고 있음.
  • 주요 제품으로는 초정밀 온습도 제어장비(THC), 팬필터유닛(FFU),초정밀 항온기(TCU)등이 있음.
  • 가장 많은 매출 비중을 차지하고 있는 THC(초정밀 온습도 제어장비)는 반도체 포토공정 중 웨이퍼 표면에 PR용액을 도포하고 건조하는 트랙(Track)장비에 장착됨.


5. 켐트로스


EUV 관련주 편입 이유

삼성전자의 EUV 포토레지스트 개발 협력사로 등록돼 있음.


EUV 관련주 켐트로스 주가 차트

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켐트로스 주식 기업소개

  • 2006년 3월 설립 후 2017년 9월 케이프이에스 기업인수목적회사와의 합병을 통해 2017년 10월 코스닥증권시장에 상장함.
  • 크게 첨단소재사업부와 융합소재사업부로 구성되어 있으며, 2차전지전해액첨가제, 반도체공정, OLED, 의약품 및 산업용 특수 접착 소재의 제조 및 판매를 주요 사업으로 영위하고 있음.
  • 이사회 결의(2023.01.11)를 통해 제3공장 내 사업 확장에 따른 시설투자 및 공장증설을 진행중임.



6. 동진쎄미켐


EUV 관련주 편입 이유

EUV용 포토레지스트 국산화.


EUV 관련주 동진쎄미켐 주가 차트

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동진쎄미켐 주식 기업소개

  • 반도체 및 디스플레이용 재료, 대체에너지용 재료와 발포제를 제조 판매함.
  • 동사가 제조하는 반도체 및 디스플레이용 재료는 감광액, 반사방지막, SOC, 연마제, Wet Chemical, Colored Resist 등임.
  • 2023.03 Dongjin Asia Holdings PTE.LTD. 에 USD3,300,000 추가 출자, 2023.09 DONGJIN USA INC 에 USD25,000,000 추가 출자하였음.


7. 파크시스템스


EUV 관련주 편입 이유

반도체 생산공정의 모니터링 장비인 NX-Wafer, 높은 나노분해능으로 웨이퍼의 기계적, 지형적 데이터뿐만 아니라 화학적 특성을 측정할 수 있는 NX-IR, EUV 마스크의 결함 측정 및 제거, 제거 후 검증까지 모든 과정을 하나의 솔루션으로 제공하는 NX-Mask 등을 출시.


EUV 관련주 파크시스템스 주가 차트

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파크시스템스 주식 기업소개

  • 1997년 설립되어 2015년에 코스닥시장에 상장한 나노계측장비(원자현미경) 전문 기업임.
  • 해외 수출을 확대하기 위하여 미국 캘리포니아, 일본 도쿄 및 싱가폴 현지 판매 법인을 자회사로 운영하며 해외 영업활동을 강화하고 있음.
  • 원자현미경은 소재, 화학, 제약, 생명공학, 전자, 반도체 등 여러 산업분야에 걸쳐 나노 과학기술 연구에 광범위하게 활용도가 높아지고 있는 추세임.


8. 풍국주정


EUV 관련주 편입 이유

탄산가스 제조. EUV 공정의 핵심소재는 탄산가스.


EUV 관련주 풍국주정 주가 차트

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풍국주정 주식 기업소개

  • 소주의 원료로 사용되는 주정을 생산, 공급할 목적으로 1954년 설립됨. 주정과 산업용가스, 수소 및 아세틸렌을 제조하고 있음.
  • 1953년 창립이후 한국 주류산업의 역사와 함께한 풍국주정공업과 산업용가스 기초 소재 산업에서 큰 도전과 혁신으로 새로운 미래를 열어가고 있는 선도산업과 에스디지가 함께 하는 기업임.
  • 효성, SK어드밴스드, 대한유화공업, 롯데BP로부터 수소 원료가스를 공급받아 양질의 초고순도 수소를 생산함.


9. 한국알콜


EUV 관련주 편입 이유

자회사인 신디프가 노광공정용 PGMEA를 고순도로 정제한다는 사실이 알려짐.


EUV 관련주 한국알콜 주가 차트

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한국알콜 주식 기업소개

  • 화학제품 및 주정 등의 제조, 판매 등의 목적으로 1984년 설립되어 1992년 7월 코스닥시장에 상장됨.
  • 합성주정, 무수주정, 정제주정 등 주정제품과 초산에틸, 초산부틸 등 석유화학제품 외 컬러페이스트, 전자급 정밀화학소재를 제조, 판매하고 있음.
  • 페인트나 도료, 잉크등에서 용제로 사용되는 초산에틸과 초산부틸을 생산하고 있으며, 고순도 제품인 전자급 초산부틸, 전자급 무수주정, 컬러페이스트까지 생산 영역을 확대하였음.


10. 지오엘리먼트


EUV 관련주 편입 이유

EUV 노광장비 출하량이 늘수록 ALD(Atomic Layer Deposition, 원자층 증착) 수요가 확대되는데, 지오엘리먼트는 ALD 증착 공정에 필수인 캐니스터(Canister)와 레벨 센서를 생산.


EUV 관련주 지오엘리먼트 주가 차트

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지오엘리먼트 주식 기업소개

  • 2005년 설립되어 2021년 코스닥시장에 상장하며 스퍼터링 타겟 제조 판매 사업과 전구체 부품 소재 사업을 영위하고 있음.
  • 반도체용 스퍼터링 타겟 중에서 기초적인 알루미늄, 티타늄, 구리계 스퍼터링 타겟에 대한 제조기술을 확보하고 제품화하여 양산공급에 성공하였음.
  • 제품 생산을 위한 전체 공정 중에서 필수 핵심공정은 전체 공정의 약 40%이며 핵심공정을 포함하여 전체 공정의 80%가 내재화되어 있음.